三星電子開(kāi)發(fā)出透光率達(dá)88%的EUV薄膜

  ICC訊  三星電子在2021年在代工廠論壇上宣布自主研發(fā)EUV薄膜(pellicle)的消息，據(jù)悉，在2022年底三星電子完成透光率達(dá)88%的EUV薄膜產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并可以大規(guī)模生產(chǎn)。

  消息指出，韓國(guó)的EUV薄膜一直被外部廠商壟斷，三星電子開(kāi)發(fā)EUV薄膜，是為應(yīng)對(duì)未來(lái)的需求變化并實(shí)現(xiàn)供應(yīng)多樣化，供應(yīng)鏈多元化和穩(wěn)定值得期待。業(yè)界預(yù)測(cè)，今年EUV薄膜的需求將比去年增加近2倍。消息表示，最早在1~2年內(nèi)，韓國(guó)國(guó)產(chǎn)EUV薄膜將應(yīng)用于商用化、量產(chǎn)生產(chǎn)線。

  根據(jù)此前消息，除了開(kāi)發(fā)自己的EUV薄膜外，三星電子還在推動(dòng)與國(guó)內(nèi)主要材料公司的合作。據(jù)悉，三星電子將在其3nm工藝中采用透光率超過(guò)90%的最新EUV薄膜以提高良率，這些薄膜將來(lái)自韓國(guó)公司S&S Tech。

  S&S Tech在2021年生產(chǎn)成功開(kāi)發(fā)出了透光率達(dá)90%的半導(dǎo)體EUV薄膜，并宣布最早將于2023年上半年進(jìn)入透光率超過(guò)90%的EUV薄膜的批量生產(chǎn)。