應(yīng)用分享｜對光學(xué)膜層進(jìn)行表征的前沿研究案例

  如果您的工作是和高反膜或抗反射膜的性能表征相關(guān)，那您一定知道它有多麻煩!但如果告訴您，有一鍵解決膜層表征的辦法，僅僅是輕擊鼠標(biāo)就能得到膜層任意波長的特性，并且精度還很高，您是否想嘗試一下?

  新一代的Glacier-C超連續(xù)光腔衰蕩反射儀正是為此而生。

  可測量到的鏡面反射率數(shù)值高達(dá)99.9995%

  常規(guī)的基于吸收和反射的測量方法靈敏度有限，難以準(zhǔn)確表征如今的超反射涂層性能。這兩種方法測量的反射率極限的典型值<99.9%，對應(yīng)著光損耗>1000ppm。

  而腔衰蕩反射儀，例如超快創(chuàng)新公司(Ultrafast Innovations GmbH)新的Glacier-C產(chǎn)品，是通過探測光腔內(nèi)的能量衰減來測量光損耗。由于光在腔內(nèi)經(jīng)歷了多次的往返損耗，每次的損耗越小，光在腔內(nèi)駐留的時間就越長，最終能獲得足夠高的靈敏度。Glacier-C系統(tǒng)能測量到的樣品的光損耗在1000ppm到5ppm之間，對應(yīng)的反射率為99.9%到99.9995%。

  測量450nm到2000nm范圍內(nèi)任意波長的膜層特性

  當(dāng)前的反射儀大都是基于激光二極管的方式，其能提供的測試波長受限于激光的輸出波長，通常只能提供單波長，雙波長，或最多三波長的測試。

  而Glacier-C產(chǎn)品能為您提供不受限制且特別靈活的波長選擇，輕擊鼠標(biāo)就可以在450nm到2000nm范圍內(nèi)選擇任意波長進(jìn)行測試，簡單又高效。

  您肯定要問了，這是如何實現(xiàn)的呢?其實，除了采用腔衰蕩技術(shù)，Glacier-C系統(tǒng)還使用了超連續(xù)譜白光光源和可調(diào)單色濾波器。超連續(xù)譜白光選擇的是NKT Photonics公司的SuperK Compact光源，可提供超寬的波長范圍，同時搭配了Superk Select可調(diào)濾波器，對輸出光譜范圍內(nèi)的任意波長進(jìn)行選擇。

  這就為用戶提供了特別靈活的膜層表征能力。只需要一臺設(shè)備，就可以完成反射鏡和膜層在任意波長上的特性表征。

  超快創(chuàng)新公司使用Glacier-C在940nm波長測量到的某片鍍膜后的晶圓的反射率損耗曲線。該曲線數(shù)據(jù)是通過衰蕩腔加入樣品前后的損耗值做差得到的。這也證明了Glacier-C系統(tǒng)的強大，不僅能測量反射鏡的反射率，也能對其他表面，如晶圓或鍍有抗反射膜的光學(xué)器件進(jìn)行寬波段的表征。

  Glacier-C能輔助科研人員利用鍍膜設(shè)施簡單高效的開發(fā)并表征膜層質(zhì)量，監(jiān)控鍍膜過程，設(shè)計反射鏡以及研究高反膜和低損耗抗反射膜的特性。

  助力公司生產(chǎn)和科學(xué)研發(fā)

  NKT超連續(xù)譜光纖激光器，該系列面向行業(yè)近二十年。產(chǎn)品性能穩(wěn)定可靠，可替代多波長激光器、低功率寬帶光源(比如ASE、SLED)，廣泛應(yīng)用于顯微成像、熒光壽命分析、光學(xué)相干斷層成像、白光干涉、光譜分析等領(lǐng)域。

  技術(shù)參數(shù)

  重復(fù)頻率：78 – 2MHz(150 kHz或320MHz可選)

  光譜范圍：390-2400nm(UV拓展波段可選)

  總功率：6.5W(110mw等不同功率型號可選)

  觸發(fā)輸出抖動：<20ps

  光束質(zhì)量M2：<1.1

  輸出光束：高斯，單模

  輸出選項：準(zhǔn)直輸出

  該產(chǎn)品操作簡單，免維護(hù)。豐富的濾波配件設(shè)計，可滿足單波長輸出、多波長同時輸出、寬帶輸出等不同應(yīng)用需要!歡迎大家來電咨詢~