ICC訊 近日,半導(dǎo)體晶圓后端自動化設(shè)備與材料供應(yīng)商吾拾微電子(蘇州)有限公司(簡稱吾拾微電子)加入訊石會員,借助訊石光通訊平臺,與國內(nèi)光通訊產(chǎn)業(yè)鏈展開交流與合作。
吾拾微電子專注于晶圓后端鍵合解鍵合設(shè)備、鍵合膠以及配套材料的開發(fā)和銷售。據(jù)訊石了解,吾拾微電子由資深半導(dǎo)體成員組建,超過10余年的行業(yè)經(jīng)驗,具備先進的研發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)能力。公司產(chǎn)品均擁有獨立自主的知識產(chǎn)權(quán),并在國內(nèi)處于領(lǐng)先水平。
公司技術(shù)演進路線
在產(chǎn)品方面,吾拾微電子以臨時鍵合技術(shù)為起點,提供涂膠鍵合,解鍵合清洗整體工藝方案。搭配自身鍵合膠產(chǎn)品,實現(xiàn)自動化生產(chǎn),減少實驗時間,為光通訊客戶量產(chǎn)提供保障。
吾拾微電子向訊石介紹,2010年,吾拾微電子首先推出了臨時鍵合膠,2014年推出了鍵合解鍵合設(shè)備,這系列產(chǎn)品于今年實現(xiàn)國產(chǎn)化。
鍵合解鍵合設(shè)備
其中,鍵合解鍵合設(shè)備可以應(yīng)用于超薄晶圓加工,主要為減薄以及背部工藝(光刻、刻蝕、電鍍等),性能穩(wěn)定,在快速鍵合、分離的同時,降低破片率。根據(jù)不同的鍵合膠類型,可直接選擇工藝方案,減少實驗時間,實現(xiàn)生產(chǎn)自動化。
TB100技術(shù)參數(shù)
為與鍵合解鍵合設(shè)備形成配套方案,公司還推出臨時鍵合膠(TB100),這種材料是一種適用于微機電系統(tǒng)(MEMS)及三維集成電路(3D-IC)的臨時鍵合膠。在對超薄晶圓的加工過程中,具有優(yōu)良的流變性、熱穩(wěn)定性、化學(xué)抗性及足夠的粘結(jié)強度,并且易于剝離和清洗。
在耗材方面,吾拾微電子選擇與國際頂尖精密制造商合作,可根據(jù)工藝要求定制不同規(guī)格。為設(shè)備裝配的多孔隙碳化硅夾具擁有高精度優(yōu)點,其孔隙率均勻,可以減少背部劃傷。
隨著光通訊器件和半導(dǎo)體市場受5G、數(shù)據(jù)中心、激光雷達、3D傳感等應(yīng)用需求驅(qū)動,光通訊半導(dǎo)體晶圓面臨難度更高的后端鍵合技術(shù)要求以及大規(guī)模化的先進自動環(huán)境。吾拾微電子將以本著務(wù)實創(chuàng)新的態(tài)度,為光通訊、半導(dǎo)體行業(yè)客戶提供專業(yè)、先進的系統(tǒng)解決方案。