上海在MOEMS無(wú)阻塞16×16陣列光開關(guān)研制方面取得新進(jìn)展

    光開關(guān)是光學(xué)測(cè)試和光通信系統(tǒng)中的關(guān)鍵器件。在光通信系統(tǒng)中，光開關(guān)是實(shí)現(xiàn)光交換的核心器件，隨著密集波分復(fù)用(DWDM)技術(shù)在光纖通信中的廣泛應(yīng)用，光開關(guān)的研究日益成為全光通信網(wǎng)絡(luò)關(guān)注的熱點(diǎn)。

    “基于MOEMS無(wú)阻塞16×16陣列光開關(guān)”項(xiàng)目是上海光機(jī)所信息光學(xué)實(shí)驗(yàn)室和上海交通大學(xué)微納米技術(shù)研究院聯(lián)合承擔(dān)國(guó)家“863”計(jì)劃項(xiàng)目，在該項(xiàng)目的研制過(guò)程中，課題組特別注重光開關(guān)器件的可靠性和穩(wěn)定性工藝技術(shù)的深入研究，在陣列光開關(guān)的整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、基于MEMS的微電磁執(zhí)行器制備、微光學(xué)雙面反射鏡制備、光纖準(zhǔn)直器的固定封裝工藝、多路對(duì)多路矩陣光開關(guān)的精密裝配技術(shù)、陣列光開關(guān)的組封裝和無(wú)阻塞算法等方面不斷改進(jìn)，組建了一套穩(wěn)定可靠的制備工藝平臺(tái)和裝配流程，并且編制了一套基于嵌入式系統(tǒng)的光開關(guān)調(diào)試、測(cè)試計(jì)算機(jī)控制管理軟件系統(tǒng)。目前，課題組已經(jīng)成功地研制出基于MOEMS的1×2、2×2、4×4、8×8和16×16陣列光開關(guān)，并均通過(guò)了華東國(guó)家計(jì)量測(cè)試中心上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院檢驗(yàn)和測(cè)試。其中基于MOEMS無(wú)阻塞8×8和16×16陣列光開關(guān)主要性能為：插入損耗≤4dB，回波損耗≤-50dB，串?dāng)_￡-70dB，交換時(shí)間≤10ms，具有無(wú)阻塞特性和自鎖功能?；?A href="http://3xchallenge.com/site/CN/Search.aspx?page=1&keywords=MOEMS&column_id=ALL&station=%E5%85%A8%E9%83%A8" target="_blank">MOEMS無(wú)阻塞4×4陣列光開關(guān)主要性能：插入損耗￡2dB，回波損耗￡-50dB，串?dāng)_￡-70dB，交換時(shí)間￡10ms，具有無(wú)阻塞特性和自鎖功能。1×2和2×2光開關(guān)的溫度相關(guān)損耗(0°至65°C)小于0.5dB，插入損耗≤0.8dB,開關(guān)時(shí)間≤8ms，回波損耗≤-50dB，串?dāng)_≤-70dB，具有自鎖功能。

    光電子國(guó)家“863”計(jì)劃專家組陳浩明教授一行四人于9月17日來(lái)所全面檢查了“基于MOEMS無(wú)阻塞16×16陣列光開關(guān)”課題組的研究工作，親臨現(xiàn)場(chǎng)觀看了16×16陣列光開關(guān)的光交換演示實(shí)驗(yàn)，對(duì)該項(xiàng)目取得的新進(jìn)展和研究成果予以充分肯定，并希望研制成功的陣列光開關(guān)器件能夠用于光通信網(wǎng)絡(luò)試驗(yàn)。