AIXTRON推出全新Micro LED量產(chǎn)設(shè)備

  1月26日，AIXTRON SE發(fā)布新聞稿，宣布向市場推出首款全自動AsP平臺——G10-AsP。新系統(tǒng)滿足了Micro LED和激光設(shè)備領(lǐng)域不斷增長的需求。作為業(yè)內(nèi)首個系統(tǒng)，G10-AsP可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)健的大批量生產(chǎn)，滿足非常高且復(fù)雜的要求。

  AIXTRON SE首席執(zhí)行官兼總裁Felix Grawert博士表示：“Micro LED將徹底改變顯示器世界，因?yàn)樗鼈兙哂懈玫哪陀眯?、更長的使用壽命、更好的圖像質(zhì)量和極低的能耗。然而，這項創(chuàng)新技術(shù)對生產(chǎn)過程提出了挑戰(zhàn)，因?yàn)樗枰畹偷娜毕菟胶妥罡叩木鶆蚵?。我們?nèi)碌腉10-AsP提供了業(yè)界首個全自動流程，為所有這一切提供了答案。新系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了同類產(chǎn)品中最高的吞吐量，具有前所未有的均勻性和缺陷水平。”

  具有最嚴(yán)格材料要求且芯片尺寸≤10微米的Micro LED真正量產(chǎn)首次成為現(xiàn)實(shí)。此外，G10-AsP還滿足大批量生產(chǎn)InP(磷化銦)激光器和VCSEL(垂直腔面發(fā)射激光器)的復(fù)雜要求。

  新平臺G10-AsP將于2023年2月1日在美國舊金山的Photonic West展會期間正式推出。在這次活動中，AIXTRON的專家將展示新系統(tǒng)：他們將解釋新平臺中包含的所有創(chuàng)新，以及它將如何提供同類產(chǎn)品中最高的吞吐量并最大限度地提高潔凈室利用率。

  新型全自動G10-AsP是投放市場的最大的200mm AsP間歇式反應(yīng)器，配備原位清潔和自動卡匣式 (C2C) 晶圓傳輸技術(shù)。前端首次可以配備SMIF(標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口)吊艙，以進(jìn)一步減少外延晶圓在室內(nèi)環(huán)境的暴露。借助內(nèi)置的原位清潔功能，用戶可以根據(jù)需要重新設(shè)置腔室條件——無論是在滿足最苛刻要求的每個工藝運(yùn)行之后，還是在受益于最高吞吐量的生產(chǎn)活動之后。該平臺基于成功的Planetary Reactor(行星式反應(yīng)器)®技術(shù)，這項技術(shù)將多晶圓間歇式反應(yīng)器概念與單晶圓旋轉(zhuǎn)相結(jié)合，以確保最高的晶圓均勻性。

  Micro LED不僅將用于下一代電視顯示器，還將用于未來的智能手表、智能手機(jī)、增強(qiáng)現(xiàn)實(shí) (AR) 投影或汽車顯示器。分析人士預(yù)計，該領(lǐng)域?qū)⒃谖磥砦宓绞陜?nèi)成為LED最大的市場。

  要使先進(jìn)的Micro LED以及InP和VCSEL應(yīng)用達(dá)到更高水平的一大挑戰(zhàn)仍然是均勻性：必須在大批量生產(chǎn)過程中實(shí)現(xiàn)優(yōu)化的片內(nèi)均勻性和片間均勻性。新的G10-AsP為這些值設(shè)定了新標(biāo)準(zhǔn)，與前代產(chǎn)品相比性能提高了兩到三倍。因此，該全自動平臺將開啟生產(chǎn)Micro LED和光子器件的新時代，克服以前阻礙大規(guī)模生產(chǎn)的主要障礙。

  紅外激光器和探測器等光子器件已在市場上得到廣泛采用。在電信領(lǐng)域，它們?yōu)楣芾聿粩嘣鲩L的數(shù)據(jù)量奠定了基礎(chǔ)，而這些數(shù)據(jù)量與不斷提高的帶寬要求相關(guān)聯(lián)。此外，它們還支持3D傳感(例如用于面部識別)和用于自動駕駛的先進(jìn)技術(shù)：隨著這項技術(shù)的不斷發(fā)展，光束必須映射更大更廣的區(qū)域。這需要更嚴(yán)格的波長公差，這轉(zhuǎn)化為對外延層沉積非常嚴(yán)格的要求。新的G10-AsP可以通過提供外延工藝的顯著精細(xì)控制來滿足這一需求，提高材料精度，減少缺陷，從而提高產(chǎn)量和達(dá)到更好的均勻性。

  在Micro LED的生產(chǎn)中，提高均勻性是經(jīng)濟(jì)可行的大規(guī)模生產(chǎn)的先決條件：Micro LED顯示器依賴于特殊的印章或矩陣轉(zhuǎn)移工藝，其中數(shù)千個尺寸僅為幾微米的LED芯片(陣列)被拾取并轉(zhuǎn)移。由于整個像素陣列都是從外延晶圓基板轉(zhuǎn)移而來的，因此需要幾乎完美的均勻性——可以料想，沒人會買顯示屏一角顏色與另一角不同的智能手表或智能手機(jī)。