日立高新技術(shù)攜兩款最新量測檢測設(shè)備亮相第二屆射頻濾波器創(chuàng)新技術(shù)大會

  ICC訊  近期，第二屆射頻濾波器創(chuàng)新技術(shù)大會在武漢隆重召開。本屆大會以“創(chuàng)享·新生”為主題，由武漢敏聲新技術(shù)有限公司主辦，湖北省青年科技工作者協(xié)會、湖北省自然科學(xué)學(xué)會工作研究會、上海新硅聚合半導(dǎo)體有限公司、安徽云塔電子科技有限公司、無錫麥姆斯咨詢有限公司共同協(xié)辦。

  射頻濾波器作為無線通信射頻前端核心器件，對中國5G、6G通信產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有至關(guān)重要的作用。射頻濾波器創(chuàng)新技術(shù)大會的舉辦，旨在為射頻濾波器創(chuàng)新技術(shù)和產(chǎn)業(yè)應(yīng)用提供專業(yè)交流平臺，推動產(chǎn)學(xué)研合作，加速解決“卡脖子”問題，為射頻濾波器國產(chǎn)化貢獻更多的智慧成果和力量。

  為期兩天的大會共進行了28場主題報告，全方位呈現(xiàn)國內(nèi)射頻濾波器行業(yè)的創(chuàng)新技術(shù)和產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀。同期舉辦的創(chuàng)新成果展區(qū)，展示了多家企業(yè)的最新研究成果。日立高新技術(shù)受邀出席并作主題報告。

  作為意在深度參與到中國射頻濾波器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的其中一員，此次日立高新也滿載誠意帶著公司獨立自主，自行研發(fā)的兩款最新的量測檢測設(shè)備(CD-SEM)CS4800及(Review-SEM)CT1000參加了本次創(chuàng)新技術(shù)大會并與與會的各路專家學(xué)者展開了積極的互動。

  自1984年S6000系列關(guān)鍵尺寸掃描電鏡誕生以來，Hitachi High-tech的量測檢測設(shè)備逐步成長發(fā)展壯大至今已有39年的歷史，此次展出的CS4800作為4~8英寸等小口徑晶圓專用的CD-SEM的回歸之作，可謂是眾望所歸。新設(shè)備在高自動化，多種晶圓尺寸對應(yīng)的靈活性以及高吞吐量所展現(xiàn)出革新式技術(shù)必將為滿足各種類型的客戶端產(chǎn)品提供服務(wù)和支持。除了適用于半導(dǎo)體級的IC芯片制造之外，在MEMS領(lǐng)域，該設(shè)備也為了適配射頻前端的表/體聲波濾波器等大量被設(shè)置在手機通訊信號傳輸領(lǐng)域內(nèi)的生產(chǎn)商，在設(shè)計上投入了大幅的革新技術(shù)。對射頻濾波器的量產(chǎn)起著具足輕重的作用。

  CS4800設(shè)備外觀

  作為一款面向小尺寸晶圓地Review SEM，CT1000除了觀察晶圓表面缺陷，以及形成缺陷的成分化學(xué)元素的分析等基本功能以外，還標準配備了至多傾斜55°的Tilt ADR功能更是為現(xiàn)場工程師提供了更加直觀的3D立體觀察影像，為改善制程工藝添磚加瓦。

  CT1000設(shè)備外觀

  90°垂直俯瞰圖&45°傾斜3D立體圖

  本次大會的成功舉辦，讓市場看到了國產(chǎn)射頻濾波器的許多新力量。每一份力量，匯聚而成的就是中國射頻濾波器的力量;每一絲進步和成就，匯聚而成的就是中國射頻濾波器的進步和成就。通過本次大會，整合射頻濾波器產(chǎn)業(yè)鏈各方資源，促進產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新資源上下游流動，激發(fā)出更多創(chuàng)新性的想法和解決方案，為行業(yè)未來發(fā)展提供更多可能。通過分享技術(shù)見解和前沿思考，借助共同的智慧和能量，未來，射頻濾波器領(lǐng)域必定會攻克產(chǎn)業(yè)發(fā)展難題，取得更多突破成果，日立高新技術(shù)作為優(yōu)秀的設(shè)備廠商也會為中國科技自立自強做出更大貢獻。