1月26日,AIXTRON SE發(fā)布新聞稿,宣布向市場推出首款全自動AsP平臺——G10-AsP。新系統(tǒng)滿足了Micro LED和激光設(shè)備領(lǐng)域不斷增長的需求。作為業(yè)內(nèi)首個(gè)系統(tǒng),G10-AsP可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)健的大批量生產(chǎn),滿足非常高且復(fù)雜的要求。
AIXTRON SE首席執(zhí)行官兼總裁Felix Grawert博士表示:“Micro LED將徹底改變顯示器世界,因?yàn)樗鼈兙哂懈玫哪陀眯?、更長的使用壽命、更好的圖像質(zhì)量和極低的能耗。然而,這項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù)對生產(chǎn)過程提出了挑戰(zhàn),因?yàn)樗枰畹偷娜毕菟胶妥罡叩木鶆蚵?。我們?nèi)碌腉10-AsP提供了業(yè)界首個(gè)全自動流程,為所有這一切提供了答案。新系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了同類產(chǎn)品中最高的吞吐量,具有前所未有的均勻性和缺陷水平?!?
具有最嚴(yán)格材料要求且芯片尺寸≤10微米的Micro LED真正量產(chǎn)首次成為現(xiàn)實(shí)。此外,G10-AsP還滿足大批量生產(chǎn)InP(磷化銦)激光器和VCSEL(垂直腔面發(fā)射激光器)的復(fù)雜要求。
新平臺G10-AsP將于2023年2月1日在美國舊金山的Photonic West展會期間正式推出。在這次活動中,AIXTRON的專家將展示新系統(tǒng):他們將解釋新平臺中包含的所有創(chuàng)新,以及它將如何提供同類產(chǎn)品中最高的吞吐量并最大限度地提高潔凈室利用率。
新型全自動G10-AsP是投放市場的最大的200mm AsP間歇式反應(yīng)器,配備原位清潔和自動卡匣式 (C2C) 晶圓傳輸技術(shù)。前端首次可以配備SMIF(標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口)吊艙,以進(jìn)一步減少外延晶圓在室內(nèi)環(huán)境的暴露。借助內(nèi)置的原位清潔功能,用戶可以根據(jù)需要重新設(shè)置腔室條件——無論是在滿足最苛刻要求的每個(gè)工藝運(yùn)行之后,還是在受益于最高吞吐量的生產(chǎn)活動之后。該平臺基于成功的Planetary Reactor(行星式反應(yīng)器)®技術(shù),這項(xiàng)技術(shù)將多晶圓間歇式反應(yīng)器概念與單晶圓旋轉(zhuǎn)相結(jié)合,以確保最高的晶圓均勻性。
Micro LED不僅將用于下一代電視顯示器,還將用于未來的智能手表、智能手機(jī)、增強(qiáng)現(xiàn)實(shí) (AR) 投影或汽車顯示器。分析人士預(yù)計(jì),該領(lǐng)域?qū)⒃谖磥砦宓绞陜?nèi)成為LED最大的市場。
要使先進(jìn)的Micro LED以及InP和VCSEL應(yīng)用達(dá)到更高水平的一大挑戰(zhàn)仍然是均勻性:必須在大批量生產(chǎn)過程中實(shí)現(xiàn)優(yōu)化的片內(nèi)均勻性和片間均勻性。新的G10-AsP為這些值設(shè)定了新標(biāo)準(zhǔn),與前代產(chǎn)品相比性能提高了兩到三倍。因此,該全自動平臺將開啟生產(chǎn)Micro LED和光子器件的新時(shí)代,克服以前阻礙大規(guī)模生產(chǎn)的主要障礙。
紅外激光器和探測器等光子器件已在市場上得到廣泛采用。在電信領(lǐng)域,它們?yōu)楣芾聿粩嘣鲩L的數(shù)據(jù)量奠定了基礎(chǔ),而這些數(shù)據(jù)量與不斷提高的帶寬要求相關(guān)聯(lián)。此外,它們還支持3D傳感(例如用于面部識別)和用于自動駕駛的先進(jìn)技術(shù):隨著這項(xiàng)技術(shù)的不斷發(fā)展,光束必須映射更大更廣的區(qū)域。這需要更嚴(yán)格的波長公差,這轉(zhuǎn)化為對外延層沉積非常嚴(yán)格的要求。新的G10-AsP可以通過提供外延工藝的顯著精細(xì)控制來滿足這一需求,提高材料精度,減少缺陷,從而提高產(chǎn)量和達(dá)到更好的均勻性。
在Micro LED的生產(chǎn)中,提高均勻性是經(jīng)濟(jì)可行的大規(guī)模生產(chǎn)的先決條件:Micro LED顯示器依賴于特殊的印章或矩陣轉(zhuǎn)移工藝,其中數(shù)千個(gè)尺寸僅為幾微米的LED芯片(陣列)被拾取并轉(zhuǎn)移。由于整個(gè)像素陣列都是從外延晶圓基板轉(zhuǎn)移而來的,因此需要幾乎完美的均勻性——可以料想,沒人會買顯示屏一角顏色與另一角不同的智能手表或智能手機(jī)。
新聞來源:LEDinside
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