Riber推出MBE 8000用于批量生產外延片

  位于法國伯宗的分子束外延(MBE)系統(tǒng)和蒸發(fā)源提供商Riber S.A.，宣布其MBE 8000生產平臺已獲得美國領先外延片制造商的最終認證。

  據(jù)稱，MBE 8000的生產率是市場上現(xiàn)有產品的兩倍，還具有出色的性能。MBE技術靈活，MBE 8000能夠滿足所有化合物半導體不斷增長的市場，包括垂直腔表面發(fā)射激光器(VCSEL)、晶體管、傳感器等，而這些市場在均勻性、再現(xiàn)性和穩(wěn)定性方面需要高水平的性能。

  該系統(tǒng)能夠批量生長8片150毫米(6英寸)或4片200毫米(8英寸)晶圓，產能比現(xiàn)有產品提高50%。由于單元設計、系統(tǒng)幾何和工藝控制相同，因此可確保在最短的時間內實現(xiàn)工藝轉移，并且Riber機器易于操作。

  最后的鑒定步驟驗證了MBE 8000在工藝、穩(wěn)健性、穩(wěn)定性、人體工程學和控制方面的性能。例如，在VCSEL型結構上測量0.8–8 μm顆粒時，30次運行的缺陷密度低于50個顆粒/cm²。