三星計劃到2030年實現(xiàn)芯片工廠完全自動化，正開發(fā)本土自研智能傳感器

  ICC訊  三星電子正在開發(fā)其“智能傳感系統(tǒng)”，旨在提高產(chǎn)量并改變半導(dǎo)體工廠的運營方式。該系統(tǒng)主要用于實時監(jiān)控和分析生產(chǎn)過程。據(jù) ET News 報道，三星最終計劃到 2030 年，使其芯片工廠實現(xiàn)完全自動化，無需人工操作。

  三星的最終目標(biāo)是到 2030 年擁有完全無人值守的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)施。實現(xiàn)這一目標(biāo)需要開發(fā)能夠管理大量數(shù)據(jù)并自動優(yōu)化設(shè)備性能的系統(tǒng)。智能傳感系統(tǒng)是該計劃的重要組成部分，預(yù)計將在使這些智能、全自動晶圓廠成為現(xiàn)實方面發(fā)揮至關(guān)重要的作用。三星目前正在向智能傳感器等項目投資數(shù)千萬韓元。

  三星目前正在開發(fā)的智能傳感器旨在測量晶圓上等離子體的均勻性，報道稱這一點至關(guān)重要，因為半導(dǎo)體制造中的蝕刻、沉積和清潔等工藝的結(jié)果，很大程度上受到等離子體均勻性的影響。

  報道還提到這些傳感器是在韓國設(shè)計和制造的。三星等韓國芯片制造商目前嚴重依賴外國工具來實現(xiàn)此類先進工藝，智能傳感器的本地制造標(biāo)志著一個重大變化，三星正在擺脫外國依賴。